МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА
В.И. Бусурин, А.Т. Фам
Московский авиационный институт, 125993, Москва, А-80, ГСП-3, Волоколамское шоссе, 4 vbusurin@mai.ru
Ключевые слова: микрооптоэлектромеханический преобразователь, угловая скорость пьезокерамика, оптическое туннелирование, отражательная способность, micro-opto-electro-mechanical transducer, angular velocity, piezoceramics, optical tunneling, reflectivity
Страницы: 124-130 Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ
Аннотация
Представлена возможность построения микрооптоэлектромеханического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта. Разработана модель МОЭМ-преобразователя. Получены зависимости выходной оптической мощности и выходного напряжения от угловых скоростей. Определён эффективный диапазон измерения угловых скоростей при обеспечении квазилинейности функции преобразования. Рассмотрено влияние конструктивных параметров чувствительного элемента и температуры на характеристики преобразователя.
DOI: 10.15372/AUT20160215 |