РЕАЛИЗАЦИЯ ФИЛЬТРОВ ВЫСОКИХ ЧАСТОТ СУБТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ВЫСОКОАСПЕКТНЫХ ПОЛИМЕРНЫХ СТРУКТУР
С.А. Кузнецов1,2,3, А.Н. Генцелев1, С.Г. Баев4
1Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 11 serge_smith@ngs.ru 2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2 3«Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники», 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1 4Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1 baev@iae.nsk.su
Ключевые слова: рентгеновская литография, высокоаспектные микроструктуры, фильтры высоких частот, X-ray lithography, high-aspect microstructures, high-frequency filters
Страницы: 107-116 Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ
Аннотация
Представлен технологический подход к реализации эффективных квазиоптических фильтров типа high-pass субтерагерцового диапазона частот электромагнитного спектра с использованием высокоаспектных псевдометаллических структур. Подход основан на микроструктурировании сплошного полимерного слоя из полиметилметакрилата посредством синхротронной рентгеновской литографии с последующей металлизацией всей поверхности структуры. Приведены пример изготовленного образца и операционные характеристики фильтра high-pass c частотой отсечки 0,275 ТГц, который имеет толщину 1 мм и сформирован гексагонально упакованными сквозными отверстиями шестиугольной формы, разделёнными перемычками шириной 70 мкм. Представлены электродинамический анализ и принципы дизайна структур high-pass.
DOI: 10.15372/AUT20170113 |