Синтез нанопорошков карбида кремния в двухструйном плазмохимическом реакторе
А.С. Аньшаков1,2, Э.К. Урбах1, А.Э. Урбах1, В.А. Фалеев1, В.С. Чередниченко2
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск anshakov@itp.nsc.ru 2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск
Ключевые слова: двухструйный плазмотрон, карбид кремния, плазмохимический реактор, диоксид кремния, углерод, метан, синтез, наноразмерная частица
Страницы: 473-482
Аннотация
Приведены результаты экспериментальных исследований получения наноструктурированных порошков карбида кремния в плазмохимическом реакторе на основе двухструйного плазмотрона. Термодинамическими расчетами определены условия образования SiC в зависимости от температуры и состава исходных компонентов. Экспериментально показана возможность синтеза карбида кремния с размерами частиц 5-20 нм.
|