ДИНАМИЧЕСКАЯ КОРРЕКЦИЯ КООРДИНАТЫ ЛАЗЕРНОГО ПУЧКА ПРИ ЗАПИСИ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ КОНТРОЛЯ АСФЕРИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ
Р.В. Шиманский, А.Г. Полещук, В.П. Корольков, В.В. Черкашин
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
shimansky@iae.nsk.su
Ключевые слова: дифракционные оптические элементы, лазерная запись, нанопозиционирование, diffractive optical elements, laser writing, nanopositioning/
Страницы: 64-73
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Создан метод увеличения точности работы круговой лазерной записывающей системы при записи крупногабаритных дифракционных оптических элементов в полярной системе координат и представлены результаты его использования. Предложен и исследован алгоритм коррекции ошибок позиционирования в процессе записи на круговой лазерной записывающей системе, разработанной в Институте автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН. Показаны изготовленные с использованием разработанного метода высокоточные дифракционные оптические элементы и результаты применения этих элементов для контроля асферического зеркала диаметром 6,5 м нового космического телескопа «Джеймс Уэбб».
DOI: 10.15372/AUT20170309 |
