Синтез керамики на основе TiOx методом плазменного напыления
А.Х. Абдуев1, А.К. Ахмедов1, А.Ш. Асваров1,2, К.Ш. Рабаданов2, Р.М. Эмиров3, С.П. Ващенко4, И.П. Гуляев4, В.И. Кузьмин4, Д.В. Сергачёв4
1Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН, Махачкала a_abduev@mail.ru 2Дагестанский научный центр РАН, Аналитический центр коллективного пользования, Махачкала 3Дагестанский государственный университет, Махачкала 4Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича СО РАН, Новосибирск vikuzmin57@mail.ru
Ключевые слова: оксид титана, рутил, плазменное напыление, микроструктура
Страницы: 639-646
Аннотация
Исследована структура керамики, полученной методом плазменного напыления сферических порошков TiO2. Выполнена электронная микроскопия поверхностей, сколов частиц исходного порошка и синтезированного в процессе напыления керамического покрытия. Рентгеновская дифракция и комбинационное рассеяние показали, что покрытия имеют в основном структуру рутила. Данные комбинационного рассеяния и рентгеновской дифракции обнаруживают также в составе покрытия аморфную фазу, фазы анатаза и нестехиометричные фазы Ti8O15, Ti10O19, Ti7O13 и др. Подавление рефлексов (011) и (111) и увеличение интенсивности рефлекса (110) свидетельствуют о наличии в синтезированной керамике преимущественной ориентации зерен. Рассмотрены механизмы формирования сложной структуры покрытий.
|