НОВЫЙ ЛАЗЕРНО-ПЛАЗМЕННЫЙ ПРОЦЕСС ПОЛУЧЕНИЯ ТВЕРДЫХ ПОКРЫТИЙ И ИХ СТРУКТУРНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
В.Н. Дёмин1, Т.П. Смирнова1, В.О. Борисов1, Г.Н. Грачёв2, А.Л. Смирнов2, М.Н. Хомяков2
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия demin@niic.nsc.ru 2Институт лазерной физики СО РАН, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: лазерная плазма мощного оптического разряда, нитрид углерода, твердые покрытия
Страницы: 1553-1559
Аннотация
Покрытия нитрида углерода синтезировали с использованием лазерной плазмы мощного оптического разряда и ацетонитрила в качестве вещества-предшественника. Получена высокобарная высокотемпературная структурная форма нитрида углерода. Микротвердость покрытий на основе этой структурной формы составила ~45 ГПа. Химическое строение и структура покрытий были охарактеризованы комплексом спектроскопических методов, а также методами АСМ и РД.
|