СТРУКТУРА И ТЕРМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ГЕТЕРОМЕТАЛЛИЧЕСКИХ КОМПЛЕКСОВ ДЛЯ ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ CU-PD ПЛЕНОК
В.В. Крисюк1, С. Уркасым кызы1, И.А. Байдина1, Г.В. Романенко2, И.В. Корольков1, Т.П. Корецкая1, Н.И. Петрова1, А.Е. Тургамбаева1
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
kvv@niic.nsc.ru
2Институт ²Международный томографический центр² СО РАН, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: медь, палладий, b-дикетонаты, кристаллическая структура, летучий гетерометаллический комплекс, термические свойства, биметаллические пленки, MOCVD прекурсор
Страницы: 1573-1580
Аннотация
Проведено исследование новых летучих гетерокомплексных соединений на основе фторсодержащих b-дикетонатов меди(II) и палладия(II). Показано, что кристаллы полученных соединений образованы 1D координационными полимерами в виде цепочек чередующихся молекул монометальных комплексов. Кристаллографические данные для [Cu(hfa)2×Pd(zif)2]: C26H22F18O10CuPd, P 21/ c , a = 7,9947(18), b = 19,277(4), c = 13,609(3) Å, = 118,298(15)°, V = 1846,7(7) Å3, Z = 2, d = 1,810 г/cм3. Термические свойства соединений исследованы методом ТГ-ДТА и вакуумной сублимации. Комплексы исследованы в качестве прекурсоров для получения пленок медно-палладиевых сплавов методом химического осаждения из газовой фазы. Показано, что из [Cu(hfa)2×Pd(zif)2] можно получать покрытия из биметаллических сплавов с соотношением Cu/Pd = 1:1.
|
