ЛЕТУЧИЕ КОМПЛЕКСЫ ЦИРКОНИЯ СО СТЕРИЧЕСКИ ЗАТРУДНЕННЫМИ ОІ-ДИКЕТОНАТАМИ: СТРУКТУРА И ТЕРМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
А.Е. Тургамбаева, В.В. Крисюк, И.А. Байдина, И.В. Корольков, И.Ю. Ильин, С. Уркасым кызы, И.К. Игуменов
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
tae@niic.nsc.ru
Ключевые слова: цирконий, дикетонаты, кристаллическая структура, летучий металлоорганический комплекс, термические свойства, термолиз, MOCVD прекурсор
Страницы: 1581-1588
Аннотация
Описана структура и термические свойства нового комплекса циркония(IV) с метоксизамещенным -дикетонатным лигандом - тетракис-(2-метокси-2,6,6-триметилгептан-3,5-дионато)циркония. Комплекс сублимируется без разложения при пониженном давлении (10-2 Торр) при 200 °C. Кристаллическая структура комплекса молекулярная, построена из двух структурных изомеров Zr(zis)4 в соотношении 1:1. Кристаллографические данные: C88H152F24O24Zr2, P -1, a = 12,1350(7), b = 19,7733(10), c = 21,0526(12) Å, = 83,338(2)°, = 89,571(2)°, = 73,515(2)°, V = 4809,5(5) Å3, Z = 2, d = 1,227 г/cм3. Координационное окружение атома циркония образовано восемью атомами кислорода четырех -дикетонатных лигандов, координационный полимер - квадратная антипризма. Расстояния Zr-O лежат в интервале 2,127-2,202 Å. Термические свойства комплекса исследованы методом TГ-ДТА. Для нового комплекса и еще двух подобных комплексов циркония с -дикетонатными лигандами, содержащими объемные концевые заместители, сравнивается влияние кристаллической структуры (упаковки молекул) на летучесть и термические свойства. Обсуждены результаты масс-спектрометрического исследования термического поведения комплексов при программируемом нагреве паров в условиях, аналогичных условиям в CVD реакторе с горячими стенками при пониженном давлении, в том числе при разложении в присутствии кислорода.
|
