СТЕХИОГРАФИЯ В ИССЛЕДОВАНИИ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА И СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК И НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ СИСТЕМ
В.В. Малахов
Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия malakhov@catalysis.ru
Ключевые слова: стехиографический метод дифференцирующего растворения, фазовый состав тонких пленок
Страницы: 1602-1609
Аннотация
Изложены принципы стехиографии и ²безэталонного² стехиографического метода дифференцирующего - разделяющего - растворения (ДР), применяемого для исследования состава и структуры тонких пленок и наноструктурированных систем: пленок ВТСП 123 различного состава, многослойных пленок Al-Au-Sn-Co-Mn, Si/SiO2/Ni(Cr)-Cu-Cu2S, Cr-Cu-S и Cu-S, пленок Bi-Ti-O на подложке Ru/SiO2/Si, Mn1- x Zn x S и ZnS-EuS, а также наноструктурированного феррита марганца в матрице боратных стекол, нанодисперсных композитных сорбентов и катализатора Co-Si-Pt-O/Al2O3, модифицированного наноразмерными частицами Pt и оксидного предшественника катализатора синтеза углеродных нанотрубок Fe2Co/Al2O3.
|