Численный метод юстировки резонатора по изображению выходного пучка
М.В. АНДРЕЕВ1, С.М. БОБРОВНИКОВ2, Е.В. ГОРЛОВ2, Ю.Н. ПАНЧЕНКО1, А.В. ПУЧИКИН1, В.И. ЖАРКОВ2
1Институт сильноточной электроники СО РАН, 634055, г. Томск, пр. Академический, 2/3
andreevmv_86@mail.ru
2Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева СО РАН, 634055, г. Томск, пл. Академика Зуева, 1
bsm@iao.ru
Ключевые слова: эксимерный лазер, обработка изображений, методы бинаризации, лазерный пучок, резонатор, интенсивность излучения, excimer laser, image processing, binarization methods, laser beam, cavity, radiation intensity
Страницы: 151-155
Подраздел: АППАРАТУРА И МЕТОДЫ ОПТИЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИКИ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ
Аннотация
Представлены результаты численных и экспериментальных исследований по управлению оптическими элементами резонатора KrF-лазера с помощью метода обработки изображений. Рассмотрены различные методы бинаризации изображения пучка для определения граничных размеров и выравнивания распределения интенсивности его излучения. Определены условия, позволяющие ускорить процесс юстировки дисперсионного резонатора в автоматическом режиме работы лазера и восстановить исходные параметры выходного пучка с точностью до 5%.
DOI: 10.15372/AOO20180211 |
