МЕТОД КАЛИБРОВКИ ЛАЗЕРНОЙ ГАЛЬВАНОМЕТРИЧЕСКОЙ СКАНИРУЮЩЕЙ СИСТЕМЫ СУБМИКРОННОГО РАЗРЕШЕНИЯ
В.П. Бессмельцев, Н.В. Голошевский, В.В. Кастеров, Я.А. Киприянов, К.К. Смирнов
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
bessmelt@iae.nsk.su
Ключевые слова: лазерная микрообработка, гальванометрические дефлекторы, комплиментарные системы сканирования, метод кросскорреляции, laser micromachining, galvanometric deflectors, complementary scanning systems, cross-correlation method
Страницы: 84-91
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Рассмотрен метод калибровки модулей сканирования на основе дефлекторов гальванометрического типа, основанный на двухшаговом итерационном алгоритме обработки профилометрической карты тестовой записи калибруемого модуля. Показано, что получить высокую точность и робастность определения координат реперных точек тестовой записи возможно при нахождении приблизительного положения таких точек и выделении фрагмента в их окрестности на первом шаге и при поиске точных значений координат корреляционным методом на втором шаге. Использование этого метода и простого алгоритма кусочно-планарной интерполяции даёт возможность обеспечить позиционирование лазерного луча с относительной погрешностью 10-5 от поля записи.
DOI: 10.15372/AUT20180411 |
