Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD
А.И. Сафонов1, В.С. Суляева2, А.Л. Богословцева1, Н.И. Тимошенко1
1Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия safonov@itp.nsc.ru 2Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия veronica@niic.nsc.ru
Ключевые слова: фторполимер, тонкие пленки, метод HWCVD, газодинамический режим течения, катализатор, fluoropolymer, thin films, HWCVD method, gas dynamic flow regime, catalyst
Страницы: 87-92
Аннотация
Экспериментально исследован процесс формирования фторполимерного покрытия методом химического осаждения. Обнаружено, что с увеличением расхода газа-предшественника происходит существенное уменьшение скорости роста покрытия. Выполнен анализ условий осаждения, проведена оценка газодинамических параметров процесса. Показано, что результаты оценок согласуются с экспериментальными данными.
DOI: 10.15372/PMTF20180510 |