РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКЦИОННАЯ ТОМОГРАФИЯ С ПРИМЕНЕНИЕМ ЛАБОРАТОРНЫХ ИСТОЧНИКОВ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ОДИНОЧНЫХ ДИСЛОКАЦИЙ В СЛАБОПОГЛОЩАЮЩЕМ МОНОКРИСТАЛЛЕ КРЕМНИЯ
Д.А. Золотов1, В.Е. Асадчиков1,2, А.В. Бузмаков1, И.Г. Дьячкова1, Ю.С. Кривоносов1, Ф.Н. Чуховский1, Э.В. Суворов3
1Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, 119333, Москва, Ленинский проспект, 59
zolotovden@crys.ras.ru
2Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, 119234, Москва, ул. Ленинские Горы, 1, стр. 2
3Институт физики твердого тела, 142432, г. Черноголовка Московской обл., ул. Академика Осипьяна, 2
Ключевые слова: рентгеновская топография, рентгеновская томография, единичные дислокационные полупетли, алгебраические методы реконструкции, X-ray topography, X-ray tomography, single dislocation half-loops, algebraic reconstruction techniques
Страницы: 28-35
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Работа продолжает цикл исследований по развитию метода рентгеновской дифракционной томографии с использованием лабораторного оборудования. В результате тестирования степени чувствительности рентгеновского дифрактометра получены результаты исследования пространственного расположения одиночной полигональной дислокационной полупетли в монокристалле кремния. Проведено их сравнение с экспериментальными данными с высоким пространственным разрешением, полученными на синхротронном источнике излучения ESRF (European Synchrotron Radiation Facility). Представлены методики эксперимента и программно-аппаратного обеспечения для трёхмерной реконструкции исследуемого единичного дефекта полигональной дислокационной полупетли.
DOI: 10.15372/AUT20190203 |
