Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика 

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.117.75.53
    [SESS_TIME] => 1732196383
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => b35bffa80bc5ac0bd1298aae664eede1
    [UNIQUE_KEY] => 8cbff3b41864a5d577757b70f4bb0d99
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2020 год, номер 2

ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ

Н.С. Балбекин1, В.Ю. Венедиктов2,3, Д.В. Венедиктов1, Н.В. Петров1, Р.С. Коновалов2, С.А. Пулькин3, А.А. Севрюгин2, И. Турсунов2, В.И. Шоев1
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
nbalbekin@niuitmo.ru
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
vlad.venediktov@mail.ru
3Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
spulkin@mail.ru
Ключевые слова: пространственный модулятор света, голограмма, крюки Рождественского, голографическая интерферометрия, коррекция искажений, усиление интерферограмм, нанометрология, spatial light modulator, hologram, Rozhdestvenskii hooks, holographic interferometry, correction distortions, amplification of interferograms, nanometrology
Страницы: 100-108

Аннотация

Представлены результаты экспериментальных исследований и схемы записи голограмм цифровым способом с использованием пространственных модуляторов света. Описано применение голографических интерференционных методов для измерения неровностей наномасштаба на примере наноступеньки (высотой 70 нм и шириной 30 мкм). Приведены примеры реализации метода увеличения чувствительности для измерений наноступеньки и метода крюков цифровым способом. Доказана вероятность реализации метода коррекции внутренних искажений системы в интерферометре. Показано, что применение голографических интерференционных методов с использованием цифровой обработки голограмм позволяет повысить чувствительность интерферограмм без потери основной информации об объекте и без увеличения точности измерений.

DOI: 10.15372/AUT20200211
Скачать pdf-версию статьи