СКРАЙБИРОВАНИЕ КРЕМНИЕВЫХ ПРИБОРНЫХ ПЛАСТИН ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ В ВОДНОЙ СРЕДЕ
А.Р. Новоселов
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск, Россия novoselov@oesd.ru
Ключевые слова: СБИС, лазерное скрайбирование, зона повреждения
Страницы: 112-121
Аннотация
Исследован результат воздействия скрайбирования лазерным излучением в водной среде на кремниевые сверхбольшие интегральные схемы, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения. Установлены ширина повреждения материала вокруг скрайбовой канавки, которая составила около 47 мкм, а также возникновение гидроудара при вскипании воды во время скрайбирования, оказывающего давление на материал не менее 1,5 x 10-6 кг/мкм2.
DOI: 10.15372/AUT20210112 |