Влияние параметров процесса на лазерно-водоструйную обработку кремния
Ю.Л. Чен1, Л.С. Ю1, Ш.Х. Чен2, Х.Э. Ли1
1Технологический университет Хэфэя, Хэфэй, Аньхой, Китай
chenyuanlong@hfut.edu.cn
2Аньхойский университет Цзяньчжу, Хэфэй, Аньхой, Китай
xhenxh@163.com
Ключевые слова: лазерно-водоструйная обработка, кремний, параметры процесса, глубина канавки, глубина
Страницы: 981-991
Аннотация
Лазерно-водоструйная обработка (ЛВО) - это новый комбинированный метод, разработанный на основе традиционной технологии лазерной обработки. Он сочетает в себе высокую эффективность обработки материалов излучением лазера с воздействием охлаждающей водяной струи. ЛВО может применяться для обработки твердых и хрупких материалов, таких как кремний. Углубленное изучение технологии такой обработки имеет важное практическое значение. Для исследования влияния параметров процесса на глубину канавки реза используется метод контролируемых переменных. Полученные данные показывают, что с увеличением силы тока и длительности лазерного импульса глубина канавки увеличивается; в случае увеличения частоты повторения лазерных импульсов и скорости водяной струи глубина канавки сначала увеличивается, а затем уменьшается. Эксперимент по обработке кремния лазерным излучением с подачей струи воды может стать показательным для обработки других труднообрабатываемых материалов.
|
