О ВОЗМОЖНОСТИ ПОЛНОГО ПОДАВЛЕНИЯ СОСТАВЛЯЮЩЕЙ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ ОТ НЕТОЧНОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ РЕШЁТКИ
В.П. Кирьянов1, А.В. Кирьянов1,2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия kiryanov@iae.nsk.su 2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия alexey@iae.nsk.su
Ключевые слова: угловые преобразователи, инструментальная погрешность, комплементарные гребенчатые фильтры, фильтр простого скользящего среднего, дифракционная решётка
Страницы: 12-18
Аннотация
Показана возможность полного подавления инструментальной погрешности, обусловленной неточностью изготовления углоизмерительной структуры, которая реализуется при произвольной форме поля взаимодействия светового излучения с топологией измерительной структуры. Данная возможность достигается выбором необходимой структуры преобразователя, для которой обеспечивается принцип когерентности комплементарных гребенчатых фильтров, формируемых в преобразователе.
DOI: 10.15372/AUT20230302 EDN: HESSQG
|