Влияние аргона на газоструйный синтез алмазных покрытий из смеси H2+CH4+Ar, активированной в СВЧ-разряде
А.А. Емельянов, В.А. Пинаев, М.Ю. Плотников, А.К. Ребров, Н.И. Тимошенко, И.Б. Юдин
Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
alemelyanov@gmail.com
Ключевые слова: алмаз, СВЧ-плазма, газоструйное осаждение, оптическая эмиссионная спектроскопия
Страницы: 417-426
Аннотация
В работе приводятся результаты исследования влияния локализованной во времени и пространстве неоднородности набегающего потока на структуру следа за симметричным каплевидным профилем в диапазоне углов атаки от -20° до +20°. Показано, что при некоторых углах атаки наличие такой неоднородности приводит к подавлению процесса вихреобразования. Обнаружены диапазоны углов атаки, при которых структура следа остается неизменной. В работе представлены результаты экспериментального исследования влияния добавки аргона на газоструйный синтез алмаза из смеси водорода с метаном. Особенностью рассматриваемого газоструйного метода является использование высокоскоростной струи для транспортировки газов, активированных в СВЧ-плазме в разрядной камере, к подложке, расположенной в камере осаждения. Для систематического исследования плазмы СВЧ-разряда в разрядной камере применяется метод оптической эмиссионной спектроскопии. Полученные на молибденовой подложке образцы алмазных покрытий исследуются методами сканирующей электронной микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света.
EDN: GMONMZ
|
