ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА ВЗАИМНОЙ КОРРЕЛЯЦИИ ИЗОБРАЖЕНИЙ ДЛЯ РАСЧЁТА КООРДИНАТ ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ КРУГЛОЙ ФОРМЫ И ИЗМЕРЕНИЯ ИХ РАЗМЕРОВ
А.А. Голицын1,2,3, С.А. Голицын3, Н.А. Сейфи1
1Новосибирский филиал Института физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН «Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники», Новосибирск, Россия
aag-09@yandex.ru
2Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия
3Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
vzevz123@gmail.com
Ключевые слова: взаимная корреляция, обработка изображений, диагностика полупроводниковых изделий
Страницы: 50-59
Аннотация
Предложена методика вычисления координаты положения круглого объекта на изображении и его диаметра. В основе методики лежит вычисление значений взаимных корреляций фрагмента анализируемого изображения с несколькими характерными изображениями-эталонами, чтобы одновременно определить, и какой эталон, и какое его смещение относительно исследуемого фрагмента являются наиболее подходящими. Методика позволяет не только вычислить размер и координаты, но и определить фактическое отсутствие объекта в поле зрения. Показана её реализуемость и практическая применимость на примере алгоритма анализа мест сварки проволочных соединений на поверхности полупроводников с характерным шариком, которые используются при сборке интегральных микросхем. Алгоритм может быть использован в целях неразрушающего контроля на производстве полупроводниковых изделий до их корпусирования. Алгоритм позволяет не только измерить диаметр шарика и определить, находится ли его координата в допуске или нет, но также установить, имеется ли соединение вообще.
DOI: 10.15372/AUT20240506 |
