Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.236.138.35
    [SESS_TIME] => 1675783975
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 8275976593e6c9a9ddd11413c94f48cc
    [UNIQUE_KEY] => 1ac5e09b6d771730c846692553f65fc9
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

2000 год, номер 1-2

Новый экологически безопасный метод осаждения слоев нитрида кремния в квазизамкнутом реакторе пониженного давления.

О. И. Семенова, К. П. Могильников, С. М. Репинский
Институт физики полупроводников СО РАН,
пр-т Акад. Лаврентьева, 13, Новосибирск 630090 (Россия)

Аннотация

Описан новый способ получения слоев нитрида кремния из тетрахлорида кремния и аммиака в квазизамкнутом реакторе пониженного давления. Этот метод, сохраняя все достоинства традиционного РПД-процесса, имеет ряд преимуществ. Это более экономичный процесс по расходам реагентов и электроэнергии. Проведение процесса без откачки исключает выброс вредных газов в окружающую среду и решает экологические проблемы. Кинетические зависимости нового процесса и свойства слоев аналогичны тем, что получены ранее при традиционном осаждении в реакторе пониженного давления.