Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.236.138.35
    [SESS_TIME] => 1675783111
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 7e59ee59f0d624262db3928bd916514f
    [UNIQUE_KEY] => c3c94983a7a52daaedca17c565cd601f
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

2000 год, номер 1-2

Cтруктура пленок нитрида бора, полученных методом газофазного химического осаждения из боразина в режиме удаленной плазмы.

Т. П. Смирнова*, Masami Terauchi, Futami Sato, Kichiro Shibata, Michiyoshi Tanaka
*Институт неорганической химии СО РАН,
пр-т Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)
Research Institute for Scientific Measurements, Tohoku University,
2-1-1 katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577 (Japan)

Аннотация

В статье приводятся результаты исследований состава и структуры пленок нитрида бора (BN), полученных из боразина. Пленки синтезировались методом газофазного химического осаждения (ГФХО), в основе которого лежит реакция взаимодействия гелия или азота, предварительно активированных в плазме высокочастотного разряда (ВЧ), с нейтральной молекулой боразина ("удаленная плазма" – УП ГФХО). По сравнению с аморфными пленками нитрида бора, получаемыми с использованием традиционных плазмохимических процессов, пленки, синтезированные в процессе УП ГФХО из боразина при температурах 473–873 K имеют нанокристаллическую структуру. Они состоят из смеси гексагональной и кубической фаз BN (h-BN и c-BN), причем массовая доля кубической фазы значительно меньше (15 %), чем гексагональной. Микроструктура пленок зависит от условий осаждения. Смесь кубической и гексагональной фаз наблюдалась в пленках, осажденных при температуре подложки Tп = 473 K в системе с активированным азотом, в то время как единственная фаза h-BN регистрировалась в пленках, синтезированных в системе с активированным гелием. Размер зерен зависит от давления боразина в процессе осаждения. В пленках наблюдается эволюция микроструктуры по ее толщине: слой аморфного нитрида бора толщиной 2 нм прилегает к поверхности подложки, а последующий слой состоит из нанокристаллических фаз h-BN и c-BN или единственной фазы h-BN.