Высокочувствительные негативные рентгенорезисты
Л. Д. НИКУЛИНА, С. М. ВОЛКОВА, Л. Ф. БАХТУРОВА
Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН, проспект Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)
Страницы: 51-55
Аннотация
Синтезированы разнолигандные комплексы редкоземельных и щелочноземельных элементов, перспективные для использования в рентгеновской литографии: Na[Pr(ПТА)4], Na[Nd(ПТА)4], Na[Tb(ПТА)4], Na[Pb(ПТА)3], Pr(ПТА)3 · 9,10-DФА, Но(ФОД)3 · DБ-18-К-6 и Ba(ГФА)2 · 18-К-6. Рассчитаны массовые коэффициенты ослабления веществ в зависимости от длины волны. Исследована чувствительность комплексов и аддуктов к синхротронному излучению. На основании значений коэффициентов контрастности проведена оценка разрешающей способности исследованных веществ. Предложен сухой негативный рентгенорезист с чувствительностью 1.9 · 10–4 Дж/см2. Обсуждены области возможного применения.
|