Упругие нанооболочки на основе кремниевых пленок: формирование, свойства и практическое применение
В. Я. Принц, С. В. Голод
Институт физики полупроводников СО РАН, 630090 Новосибирск
prinz@isp.nsc.ru
Ключевые слова: упругие напряжения и деформация, тонкие пленки, кремний, нанотехнология
Страницы: 114-128
Аннотация
Представлен краткий обзор и приведены новые оригинальные результаты по контролируемому формированию и свойствам твердотельных монокристаллических микро- и нанооболочек различных форм: трубок и спиралей, вертикально расположенных колец и цилиндров, изогнутых и желобообразных консольных балок. Для формирования оболочек и сложных конструкций заданного размера и формы используется упругая энергия исходных напряженных пленок SiGe/Si нанометровых толщин, а также методы высокоселективного и направленного отсоединения пленок от кремниевых подложек. Экспериментально показано, что диаметры SiGe/Si-нанотрубок в несколько раз меньше значений, предсказываемых континуальной теорией упругости. Обсуждаются свойства оболочек из полупроводниковых и гибридных (металл — полупроводник и металл — диэлектрик — полупроводник) пленок, а также варианты их применения в микро- и наноэлектромеханике.
|
