Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 44.200.169.48
    [SESS_TIME] => 1711695882
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 3cd5b90f7963663d81f0fd71ffec7b51
    [UNIQUE_KEY] => 90f7888a26148ca0d0c7bd89c241f932
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 5

ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДОВ ОПТИЧЕСКОЙ ТРИАНГУЛЯЦИИ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УРОВНЯ РАСПЛАВА ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ КРИСТАЛЛОВ

С. В. Михляев
(Новосибирск)
Страницы: 30–41
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация

Дан анализ триангуляционных оптических методов измерения уровня расплава в тигле при выращивании кристаллов. Основное внимание уделяется методу активного зондирования, основанному на использовании лазерного триангуляционного сенсора. Приведены оценки метрологических характеристик (систематической составляющей погрешности измерений и диапазона измерений) в зависимости от уровня расплава, скорости его вращения, расстояния зоны измерения от центра вращения, координаты тигля. Даны оценки допустимой скорости вращения расплава. Сформулированы требования к оптической системе, обеспечивающие максимальный диапазон измерений, а также к алгоритмам обработки оптического сигнала, формируемого при отражении зондирующего луча от нестационарной зеркальной поверхности. Обсуждаются особенности измерения уровня расплава с использованием пассивного бинокулярного сенсора.