Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.97.14.81
    [SESS_TIME] => 1734084139
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => f826f0ff533d11355f3bd8e46322b44f
    [UNIQUE_KEY] => 4c88843ee83741e1933a7b8f78bd1c4d
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2004 год, номер 2

НАНОМЕТРИЯ: ПРОБЛЕМЫ И РЕШЕНИЯ

В. В. Календин
(Москва)
Страницы: 20–36
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ

Аннотация

Рассмотрены состояние и перспективы развития метрологического обеспечения линейных измерений в нанометровом диапазоне. Сформулированы проблемы техники нанометровых измерений и определены важнейшие задачи их решения. На основе анализа принципиальных возможностей различных методов и средств нанометрии, а также технологий изготовления и конструкций мер малой длины рекомендованы наиболее оптимальные с точки зрения разрешающей способности, стабильности и погрешности измерений. Представлены результаты экспериментальных исследований эталонного измерительного комплекса на основе сканирующего зондового микроскопа и лазерного интерферометра, обеспечивающего трехмерные измерения линейных размеров с атомным разрешением в реальном масштабе времени.