ИНТЕРФЕРОМЕТРИЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПО НЬЮТОНОВСКИМ ПОЛОСАМ
В. П. Коронкевич, Г. А. Ленкова, А. Е. Маточкин, В. Г. Максимов, В. А. Тартаковский, С. А. Чудинов
(Новосибирск – Томск)
Страницы: 33-46 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ
Аннотация
Определены условия контроля сферических и параболических поверхностей в дифракционном интерферометре с зонной пластинкой. Показано, что методами трассирования нулевой полосы и "хребтовых линий" можно отделить ошибки формы зеркала от инструментальной погрешности интерферометра. Результаты испытаний параболической поверхности сравниваются с результатами измерений абсолютным методом Ричи. Расхождение средних значений асферичности не превышало /20.
|