Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 44.192.52.167
    [SESS_TIME] => 1669619988
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 0fe3a4e5d4ca8730528fd96279414bcb
    [UNIQUE_KEY] => 5814888bf3b209a3029041f44f15b556
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2005 год, номер 6

Повышение точности френелевского метода измерения размеров при использовании частично когерентного освещения

Ю. В. Чугуй, Н. А. Яковенко, М. Д. Ялуплин
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, Новосибирск, Кубанский государственный университет, E-mail: chugui@tdisie.nsc.ru
Страницы: 13-22
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Исследуются способы повышения точностных характеристик френелевского метода измерений при использовании частично когерентного освещения. Оценена систематическая погрешность измерения, вызванная интерференцией дифракционных краев объекта. Предложен способ повышения точности френелевского метода в нижнем измерительном диапазоне.