Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 34.239.148.106
    [SESS_TIME] => 1711698320
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 09c57c770aa8a95c7d841414c9c20417
    [UNIQUE_KEY] => f2a07a5976dc0b7a15aa95ce6207f889
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2007 год, номер 1

МЕТОД ЧАСТИЧНОГО СКАНИРОВАНИЯ КОРРЕЛОГРАММ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТЕЙ

Е. В. Сысоев
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН,
г. Новосибирск E-mail: evsml@mail.ru
Страницы: 107-115
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Представлен метод измерения микропрофиля поверхности с нанометровым разрешением, основанный на неполном сканировании коррелограмм в интерферометре Линника с частично когерентным источником света. Приведены экспериментальные результаты измерений толщины тонких пленок. Показано, что при сканировании коррелограмм в пределах 1–2 периодов может быть достигнуто разрешение по глубине лучше 1 нм.