Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 44.192.52.167
    [SESS_TIME] => 1669806445
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => a76c6a316f42e39ea97af029bff9af88
    [UNIQUE_KEY] => f7da18f93c447df27566328d1aa5fcef
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2008 год, номер 2

ВЛИЯНИЕ ОСТАТОЧНОГО НАПРЯЖЕНИЯ В ОПТИЧЕСКИХ ОКНАХ НА ТОЧНОСТЬ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ

В. А. Швец
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
E-mail: shvets@isp.nsc.ru
Страницы: 119-126

Аннотация

Рассмотрено влияние остаточного двулучепреломления в оптических окнах на результаты эллипсометрических измерений. Оптические свойства окон описываются комплексным относительным коэффициентом пропускания. В предположении слабой анизотропии окон в линейном приближении рассчитаны поправки к эллипсометрическим параметрам, которые возникают при измерениях на эллипсометрах статического типа. Анализ полученных соотношений показывает, что при двухзонных измерениях поправки частично усредняются. Установлено, что оптимальное положение окон соответствует ориентации их оптических осей под углом 45° относительно плоскости падения света.