Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.97.9.170
    [SESS_TIME] => 1733579238
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 798a9124b47b0cd1525be7d207e53387
    [UNIQUE_KEY] => be46d2e6c42d722883eb679c2ba98554
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2012 год, номер 2

СПЕКТРОФОТОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБИНЫ ОТРАЖАТЕЛЬНЫХ КАЛИБРОВОЧНЫХ РЕШЁТОК

В. П. Корольков1,2, А. С. Конченко1,2
1Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН
2Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Новосибирский государственный университет»
korolkov@iae.nsk.su, as_konch@ngs.ru
Ключевые слова: измерение глубины микрорельефа, калибровочные структуры, спектрофотометрический метод, рефлексометрия
Страницы: 119-127

Аннотация

Предложен метод измерения глубины калибровочных решёток, основанный на измерении спектральной зависимости дифракционной эффективности в нулевом порядке дифракции на отражение. Погрешности метода определяются тремя основными факторами: смещением максимумов спектра из-за наклона стенок канавок решётки, ошибкой задания длины волны спектрофотометра и расходимостью пучка света в установке. Теоретически показано, что в зависимости от технологии изготовления решёток и измерительного оборудования погрешность измерения лежит в пределах 0,25-1 %. Проведена экспериментальная апробация метода на промышленных калибровочных решётках. Обсуждены диапазоны применимости метода с точки зрения геометрических параметров микроструктуры отражательных решёток и характеристик используемого спектрофотометра.