Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 34.204.174.110
    [SESS_TIME] => 1653203683
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 7e27c701e57ce83dfe0d48a326bbdedd
    [UNIQUE_KEY] => e8767e36bbe1e7fd67e55b199bf65408
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2012 год, номер 4

Исследование химического состава плЕнок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии

В. Г. Кеслер1, М. Л. Косинова2, Ю. М. Румянцев2, В. С. Суляева2
1 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
kesler@isp.nsc.ru, marina@niic.nsc.ru
Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, Оже-спектроскопия, PECVD, пленки BCxNy
Страницы: 710-717

Аннотация

Методами РФЭС и Оже-спектроскопии выполнены исследования химического состава пленок BCxNy, синтезированных методом PECVD из различных исходных газовых смесей в диапазоне температур 473-723 K. Установлены основные закономерности и особенности формирования пленок. Показано, что химический состав пленок BCxNy существенно зависит от параметров процесса синтеза, что позволяет целенаправленно управлять их физическими свойствами. Проведено обсуждение полученных закономерностей.