Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика 

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 13.58.36.141
    [SESS_TIME] => 1713582720
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => aef797a984171d1bf95619a2977c63e6
    [UNIQUE_KEY] => e5526c1f04c20c0f690b0d71ebc8a2c2
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2012 год, номер 4

ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ ПЛАТИНОВОЙ ГРУППЫ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО MOCVD: II. ОСАЖДЕНИЕ Ru СЛОЕВ

Н. Б. Морозова1, Н. В. Гельфонд1, П. П. Семянников1, С. В. Трубин1, И. К. Игуменов1, А. К. Гутаковский2, А. В. Латышев2
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
2 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
mor@niic.nsc.ru
Ключевые слова: летучие комплексы рутения (II, III) c органическими лигандами, высокотемпературная масс-спектрометрия, процессы термораспада, метод импульсного MOCVD
Страницы: 735-743

Аннотация

Методом in situ высокотемпературной масс-спектрометрии исследованы процессы термораспада паров Ru(acac)3 и Ru(nbd)(allyl)2, предложены возможные схемы термических превращений на нагретой поверхности. Методом импульсного MOCVD с in situ масс-спектрометрическим контролем процессов осаждения получены ультратонкие слои Ru с толщиной несколько нанометров. Выявлена роль реакционной среды, природы прекурсора и температуры осаждения в формировании нанокристаллической структуры пленок. пленки Ru с компактной сплошной структурой формируются из Ru(acac)3 и водорода при температуре осаждения 340 °C и ниже, повышение температуры приводит к росту нанозернистых Ru слоев. Из Ru(nbd)(allyl)2 вне зависимости от условий осаждения формируются зернистые нанокристалические слои Ru.
Скачать pdf-версию статьи