МИКРОПУЧКОВЫЙ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФ ДЛЯ ПРЯМОГО ФОРМИРОВАНИЯ ГЛУБОКИХ LIGA-СТРУКТУР
Б.Г. Гольденберг, Е.Ф. Резникова, А.Г. Лемзяков, В.Ф. Пиндюрин
Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 11
goldenberg@inp.nsk.su
Ключевые слова: синхротронное излучение, рентгенолитография, LIGA-технология
Страницы: 96-102
Аннотация
На станции LIGA на накопителе ВЭПП-3 Сибирского центра синхротронного и терагерцового излучения реализован режим работы микропучкового рентгенолитографа – нового устройства для прямого формирования микроструктур в толстых слоях рентгенорезистов, в том числе для изготовления рентгеношаблонов. С использованием специального программного обеспечения коллимированным пучком синхротронного излучения при перемещении подложки векторным образом непосредственно в слое негативного резиста SU-8 толщиной до 1 мм формируется рисунок микроструктуры с произвольно заданной топологией. Представлено описание устройства установки, её технологические возможности и ограничения. Приведены примеры изготовленных микроструктур с высоким аспектным отношением и рентгеношаблонов
|
