ИЗМЕНЕНИЕ ПРОВОДИМОСТИ НАНОПРОВОЛОЧНЫХ СЕНСОРОВ ПРИ АДСОРБЦИИ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ
М.А. Ильницкий, О.В. Наумова, Л.Н. Сафронов, В.П. Попов
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
ilnitsky@isp.nsc.ru
Ключевые слова: нанопроволоки, кремний на изоляторе, сенсор, моделирование
Страницы: 119-125
Аннотация
Приводятся результаты численного 2D- и 3D-моделирования характеристик сенсоров на основе кремниевых нанопроволок, расположенных на слое изолятора, в целях определения оптимальных условий отклика на диэлектрические частицы. Рассматривается эффект экранирования нанопроволок диэлектрическими частицами в растворах с pH = 7, используемых в качестве среды транспортировки биологических объектов
|