ЯЧЕЙКА КРЕМНИЕВОЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ МИКРОСХЕМЫ СЧИТЫВАНИЯ СО ВСТРОЕННЫМ АНАЛОГО-ЦИФРОВЫМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕМ
А.В. Зверев, Ю.С. Макаров, Е.А. Михантьев, С.А. Дворецкий
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
zverev@isp.nsc.ru
Ключевые слова: интегральная микросхема считывания сигнала, ИК-фотоприёмники, NEDT, КРТ, цифровое интегрирование, integral signal reading microcircuit, IR photodetectors, CMT, digital integration
Страницы: 79-87
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Предложен проект накопительной ячейки кремниевой интегральной микросхемы считывания сигнала со встроенным аналого-цифровым преобразователем для матричных ИК-фотоприёмников на основе твёрдых растворов Hg1-xCxTe с чувствительностью в спектральном диапазоне от 8 до 10 мкм. Ячейка разработана по кремниевой технологии HCMOS8D ОАО «НИИМЭ и Микрон» (Москва) с проектной нормой 0,18 мкм. Представленный проект ячейки имеет размер 20 x 20 мкм, разрядность встроенного аналого-цифрового преобразователя 15 бит. При средней величине фототока 7 нА и времени интегрирования 7,5 мс расчётное значение эквивалентной шуму разности температур составляет 4,6 мК.
DOI: 10.15372/AUT20160410 |
