Температурное поле в монокристаллическом кремнии, облучаемом лазером c миллисекундной длительностью импульса
Г. Мин, Т. Юн, Г. Сюнь, Ю. Боши, Ц. Гуанюн
Чанчуньский университет наук и технологий, Чанчунь, 130022, Китай
guoming1012@sina.com
Ключевые слова: лазер с миллисекундной длительностью импульса, импульс, монокристаллический кремний, температурное поле, метод конечных элементов, millisecond laser, pulse, monocrystalline silicon, temperature field, finite element method
Страницы: 142-152
Аннотация
С использованием уравнения теплопроводности, учитывающего фазовые переходы и зависимость термофизических параметров от температуры, изучены температурное поле и фазовые переходы в монокристаллическом кремнии при его нагреве лазерным лучом. С помощью метода конечных элементов и метода конечных разностей выполнено численное моделирование температурного поля и фазовых переходов при различных значениях параметров миллисекундного лазера с излучением в форме гауссова пучка и различных значениях длительности импульса. Проведено сравнение результатов численных расчетов и экспериментальных данных.
DOI: 10.15372/PMTF20170414 |
