ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРООПТИКЕ. Ч. 1. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И ФОТОШАБЛОНОВ С АМПЛИТУДНЫМ ПРОПУСКАНИЕМ
В.П. Вейко1, В.П. Корольков2, А.Г. Полещук2, Д.А. Синев1, Е.А. Шахно1
1Hациональный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101, Санкт-Петербург, Кронверкский просп., 49
VadimVeiko@mail.ru
2Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
victork@iae.nsk.su
Ключевые слова: лазерная технология, термохимия, лазерная запись, аморфный кремний, LDW-стекло, полутоновые фотошаблоны, laser technology, thermochemistry, laser recording, amorphous silicon, LDW glass, grayscale photomasks
Страницы: 66-77
Подраздел: ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА
Аннотация
Представлен обзор исследований, выполненных коллективами Университета информационных технологий, механики и оптики (Санкт-Петербург) и Института автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН (г. Новосибирск) в области разработки лазерных технологических процессов для формирования структуры дифракционных оптических элементов (ДОЭ) и фотошаблонов с амплитудным бинарным и полутоновым пропусканием. Приведены результаты исследований лазерной термохимической технологии изготовления хромовых ДОЭ, технологий изготовления полутоновых ДОЭ и фотошаблонов на основе применения аморфного кремния и LDW-стекла.
DOI: 10.15372/AUT20170507 |
