МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ОТВЕСНЫХ УЧАСТКОВ КУСОЧНО-НЕПРЕРЫВНОГО ПРОФИЛЯ ПРИ ОДНОСТАДИЙНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ЗАПИСИ ДОЭ НАКЛОННЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ПУЧКАМИ
В.П. Кирьянов1, В.Г. Никитин2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, Россия, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1 kiryanov@iae.nsk.su 2Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute, 2 Science Park East Avenue, Hong Kong Science Park, Shatin, Hong Kong vnikitin@astri.org
Ключевые слова: дифракционная эффективность, технология записи, профили ДОЭ, контраст фоторезистов, обратные скаты дифракционных зон, наклонные пучки, diffraction efficiency, writing technology, diffractive optical element profiles, photoresist contrast, inverse slopes of diffraction zones, inclined beams
Страницы: 15-22 Подраздел: MODELING IN PHYSICAL AND TECHNICAL RESEARCH
Аннотация
Представлены результаты моделирования важнейшей составляющей одностадийной технологии записи киноформных линз в толстых слоях фоторезистов с повышенной дифракционной эффективностью, реализуемой за счёт формирования обратных скатов зон Френеля с крутизной до 90º с помощью наклонных лазерных пучков. Показано, что подобная методика записи объёмных структур в фоторезистах с малым контрастом (k = 3) позволяет существенно увеличить крутизну обратных скатов зон, а в фоторезистах со средним контрастом (k = 10) - формировать практически отвесные скаты.
DOI: 10.15372/AUT20170602 |