СТРУКТУРА, СОСТАВ И ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЕВ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РУТЕНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ИМПУЛЬСНЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
В.Ю. Васильев
Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
vladislavvasilyev@gmail.com
Ключевые слова: слои рутения, карбонил-диеновый предшественник, импульсное осаждение из газовой фазы, плотность, структура, состав и электрическое сопротивление слоев рутения
Страницы: 1589-1596
Аннотация
Систематизированы экспериментальные данные о взаимосвязи удельного электросопротивления, плотности, структуры и состава тонких слоев рутения (ТСР), синтезированных в интервале температуры 160-310 °C при импульсном осаждении из газовой фазы с участием карбонил-диенового предшественника Ru(CO)3(C6H8) и NH3 и N2O в качестве вторых реагентов. Основной примесью в ТСР после их осаждения и отжига является углерод с концентрацией ~30-50 ат.%. Для повышения плотности и снижения электросопротивления ТСР до значений менее 50 мкОм×см целесообразно при синтезе использовать N2O, а также применять последующий термический отжиг ТСР при температурах до 700 °C, улучшающий кристаллическую структуру слоев.
|
