ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ФРЕНЕЛЕВСКОГО МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЙ ДИАМЕТРОВ КРУГОВЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ЦИЛИНДРОВ С ПРОИЗВОЛЬНЫМ КОЭФФИЦИЕНТОМ ОТРАЖЕНИЯ СВЕТА
Ю.В. Чугуй1,2,3
1Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, Новосибирск, Россия
chugui@tdisie.nsc.ru
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: цилиндр, дифракция Френеля, интегралы Френеля, коэффициент отражения света, измерение размеров, cylinder, Fresnel diffraction, Fresnel integrals, light reflection coefficient, dimensional inspection
Страницы: 108-116
Аннотация
Развит дифракционный френелевский метод прецизионного измерения диаметров круговых металлических цилиндров в диапазоне от единиц до сотен миллиметров с произвольным коэффициентом отражения света от их поверхностей. Метод основан на определении положения 1-го максимума во френелевской картине объекта, формируемой в свободном пространстве. В классе специальных функций - интегралов Френеля - получено выражение для дифракционной френелевской картины плоской модели фрагмента цилиндра, на основании которого найдена формула, учитывающая смещение положения 1-го максимума поля в зависимости от коэффициента отражения света. Введение соответствующей корректирующей поправки позволяет снизить составляющую погрешности измерений, обусловленную этим фактором, более чем на порядок. Результаты исследований могут быть использованы при разработке оптико-электронных систем прецизионного размерного контроля цилиндрических изделий.
DOI: 10.15372/AUT20190614 |
