РАСШИРЕНИЕ ДОПУСТИМЫХ ПРЕДЕЛОВ КРИВИЗНЫ ОСЕСИММЕТРИЧНЫХ 3D-ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРИ ЗАПИСИ МИКРОРЕЛЬЕФА
В.П. Кирьянов
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск, Россия kiryanov@iae.nsk.su
Ключевые слова: автоматическая фокусировка, оптические 3D-поверхности, нож Фуко, датчик расфокусировки
Страницы: 19-23
Аннотация
Анализируется функционирование системы автоматической фокусировки излучения технологических лазеров на оптические 3 D -поверхности, реализованной в оптической головке записи лазерного генератора изображений модели ЛГИ-2. Обсуждаются причины серьёзных ограничений по допустимому наклону поверхности записи. Предлагается альтернативное решение, позволяющее существенно увеличить допустимый угол наклона осесимметричных поверхностей, на которых должна проводиться запись топологии микроструктур.
DOI: 10.15372/AUT20220203 |