Главная – Журналы – Автометрия 2022 номер 3

Исследованы особенности формирования изображений внешних граней протяжённых (по глубине) щелевых отверстий постоянной толщины d симметричного типа (с равными входной и выходной апертурами D) с абсолютно поглощающими внутренними гранями. В основу расчётов положена оптико-физическая модель дифракционных явлений на протяжённых абсолютно поглощающих объектах с использованием эквивалентных транспарантов щелевого типа. Изучены структуры изображений таких объектов, формируемых в идеальных и дифракционно-ограниченных системах. Показано, что профили изображений передней и задней граней протяжённого щелевого отверстия в значительной степени зависят от параметра N, равного отношению критического угла дифракции θ_кр = √λ/d к половинному угловому размеру θ₀ апертурного фильтра, а также от отношения апертуры щели D к размеру зоны Френеля δ_d = √λd . Установлено, что при N = θ_кр/θ₀ ≥ 1 (глубина резкости системы ∆z = λ/θ²₀ ≥ d) имеет место смещение геометрических границ объекта в его изображении, которое определяется как взаимодействием дифракционных картин двух краёв для случая плоской щели (d = 0), так и влиянием вторичной дифракции света на задней грани протяжённого объекта. Показано, что при D ≥ λd смещение границ в основном обусловлено вторичной дифракцией света, что, в свою очередь, приводит к систематической погрешности измерения апертуры D, равной ε_d = 0,22 δ_d . Исследованы особенности формирования дифракционно-ограниченных изображений задней грани при сильных объёмных эффектах (N ≤ 1). Изучена структура полей в изображениях граней канального отверстия (D ≤ λd).