Контроль геометрических параметров отверстий с использованием дифракционного кольцевого фокусатора
Л. В. Финогенов
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, Новосибирск, E-mail: finog@tdisie.nsc.ru
Страницы: 23-31 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ
Аннотация
Исследуется бесконтактный оптико-электронный метод комплексного контроля протяженных отверстий диаметром более 10 мм. Приведены результаты экспериментов по измерению непрямолинейности оси, диаметров и отклонения формы отверстий.
|