ИНТЕРФЕРОМЕТР ФИЗО БЕЗ ДЕСТРУКТИВНЫХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОЛОС И СПЕКЛОВ
В. П. Коронкевич, А. И. Лохматов, А. Е. Маточкин, А. Р. Герент
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск E-mail: matochkin@iae.nsk.su
Страницы: 72-76
Аннотация
Для задач интерферометрического контроля плоскопараллельных оптических пластин рассмотрена возможность снижения глубины области интерференции в схеме интерферометра Физо с полупроводниковым лазером.
|