Термодинамическое моделирование процессов разделения газовых водород-хлороводородных смесей методом абсорбции хлорсиланами с целью возвращения водорода в технологический цикл при получении полупроводникового кремния
В. А. Титов1, Л. И. Чернявский2, Л. А. Борисова3, Б. А. Шагаров4, С. А. Муравицкий5, В. Н. Ниткин6, В. А. Постников7
1 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН 2 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН 3 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН 4 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния 5 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния 6 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния 7 ОАО "СвердНИИХимМаш"
Страницы: 359-362
Аннотация
Рассмотрена задача разделения газовых водород-хлороводородных смесей с применением хлорсиланов в качестве сорбентов. Показана возможность очистки водорода от HCl до 0.1 мол. % и возвращения его в технологический цикл на этапе водородного восстановления трихлорсилана. Очищенный от примесей хлорсиланов хлороводород также может быть применяться в качестве реагента для получения трихлорсилана из металлургического кремния.
|