Исследование свойств и структуры наноразмерных мембран для акустооптических приборов
Б. М. Аюпов1, В. В. Баковец2, А. Г. Паулиш3, В. Н. Федоринин4, В. С. Данилович5
1 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, ayupov@niic.nsc.ru
2 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск
3 Новосибирский филиал Института физики полупроводников СО РАН ″КТИ ПМ″, 630090 Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 13
4 Новосибирский филиал Института физики полупроводников СО РАН ″КТИ ПМ″, 630090 Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 13
5 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск
Ключевые слова: полиимидная пленка, эллипсометрия, оптические модели, электронная микроскопия
Страницы: 73-77
Аннотация
Получены пленки полиимида на стекле К8, используемые для изготовления матриц приемников инфракрасного излучения. При исследовании этих систем методом монохроматической нулевой эллипсометрии наименьшая разность между параметрами поляризации отраженного света, определенными из углов гашения поляризатора и анализатора
и вычисленными по определенной модели, получается после введения слоя воздуха
между подложкой и пленкой. Правильность такого решения проверена путем выдержки пленки в парах воды, после чего решение обратной задачи эллипсометрии указало на появление слоя жидкой воды между пленкой и подложкой. На основании электронно-микроскопических исследований предложен механизм проникновения воды и представлена физическая модель системы полиимидная пленка/подложка.
|
