ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТРУКТУРЫ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОРИСТЫХ СЛОЕВ
К. П. Могильников, О. И. Семенова
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН oisem@thermo.isp.nsc.ru
Ключевые слова: адсорбция, тонкие пористые пленки, эллипсометрия, модуль Юнга
Страницы: 926-931
Аннотация
Предложен новый эллипсометрический способ измерения адсорбции в тонких слоях непосредственно в потоке смеси паров летучих жидкостей с инертным газом при атмосферном давлении. Способ позволяет определять основные структурные параметры нано- и микропористых материалов: средний размер пор, поверхность пор, распределение пор по размерам и полную пористость сорбентов. Описана методика определения модуля Юнга в наноразмерных пористых слоях с использованием спектроэллипсометра.
|