ИЗУЧЕНИЕ СТРУКТУРЫ ПЛЕНОК (HFO2)x(Al2O3)1-x/Si МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
В. В. Каичев1, Ю. В. Дубинин1, Т. П. Смирнова2, М. С. Лебедев2
1 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН vvk@catalysis.ru
Ключевые слова: диоксид гафния, оксид алюминия, алюминат гафния, бинарный раствор, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, послойный анализ
Страницы: 495-502
Аннотация
Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) с применением методики послойного анализа проведено исследование пленок твердых растворов (HfO2)x(Al2O3)1-x, синтезированных методом химического осаждения из газовой фазы. Продемонстрирована возможность определения структуры твердых бинарных растворов на основе анализа РФЭ спектров.
|