Исследование химического состава плЕнок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии
В. Г. Кеслер1, М. Л. Косинова2, Ю. М. Румянцев2, В. С. Суляева2
1 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН kesler@isp.nsc.ru, marina@niic.nsc.ru
Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, Оже-спектроскопия, PECVD, пленки BCxNy
Страницы: 710-717
Аннотация
Методами РФЭС и Оже-спектроскопии выполнены исследования химического состава пленок BCxNy, синтезированных методом PECVD из различных исходных газовых смесей в диапазоне температур 473-723 K. Установлены основные закономерности и особенности формирования пленок. Показано, что химический состав пленок BCxNy существенно зависит от параметров процесса синтеза, что позволяет целенаправленно управлять их физическими свойствами. Проведено обсуждение полученных закономерностей.
|