Электрохимическая устойчивость оксидов индий-олово (ITO)
А. Г. БЕЛОБАБА, А. Г. ЗЕЛИНСКИЙ, А. А. ГУСЕВ, А. И. МАСЛИЙ
Институт химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения РАН, ул. Кутателадзе, 18, Новосибирск 630128 (Россия)
belobaba@ngs.ru
Ключевые слова: оксиды индий-олово, ITO, катодное восстановление, анодное растворение, мишени магнетронов
Страницы: 417-422
Аннотация
Исследована электрохимическая устойчивость смешанных оксидов индий-олово (ITO) при катодной и анодной обработке в различных растворах. Установлено, что в случае катодной поляризации при потенциалах отрицательнее потенциала начала выделения водорода в соответствующих растворах ITO восстанавливаются до металлов In и Sn с последующим образованием интерметаллидов. Показано, что при анодной обработке на скорость анодного растворения ITO большое влияние оказывают природа кислоты и плотность тока. В HCl скорость растворения меньше, чем в H2SO4, и существенно снижается с ростом концентрации кислоты за счет ускорения побочной реакции выделения Cl2. Электрохимическая активность ITO при катодной и анодной обработке в растворах позволяет использовать электролиз для утилизации отработанных мишеней магнетронов или ITO-скрапов.
|
